1963年，美國出了個潔凈室聯邦標準Fed Std 209。在209標準中，潔凈室按環境中每立方英尺空間≥0.5μm的粉塵數量限度分成若干級別，如100級、10，000級、100，000級。中國過去的潔凈室標準也按這種方法分級。

1999年，國際標準化組織ISO頒布了潔凈室國際標準ISO14644-1《潔凈室與受控潔凈環境，第 一部分：空氣潔凈度分級》。ISO規定的清潔度等級和傳統等級的具體數值見下表2。

用公式表示上述指標:

Cn = 10N × (0.1/D)2.08用公式表示上述指標：

式中:cn-每立方米的空間允許超過某粒徑粒子物的數量濃度

n-ISO的清潔度等級數

d-顆粒尺度，單位為微米

0.1 — 常數，單位為微米。

中國潔凈室標準新修訂稿采用ISO等級。但是，人們已經習慣了百級萬級、萬級。那個很好吃，容易記住。今后一段時間，人們可能會說到新一代設計師們不記得舊的等級和英制計量機構。

說潔凈度應該對應潔凈室的狀態：空態(新建，空屋子)，靜態(設備就位，無人員)，動態(正常工作)。具體工程所說的“潔凈度”是指哪種狀態，要由用戶與設計、供貨等方面協議確定并明文規定。忘記對狀態做規定，大家都會有空子可鉆。

附件:GMP規定的清潔度。

清潔的水平。

塵粒較大允許數量。

微生物較大允許數 。

相當于。

ISO分級。

≥0.5μm。

5μm 。

浮游菌/m3。

沉降菌/盤子。

100級 。

3，500。

0。的雙曲馀弦值。的雙曲馀弦值。

5的雙曲馀弦值。的雙曲馀弦值。

1的雙曲馀弦值。的雙曲馀弦值。

ISO 5級 。

10，000級。

350，000。

2，000。

100。

3的雙曲馀弦值。的雙曲馀弦值。

ISO是7級。

100，000級。

3，500，000。

20，000。

500。

10。的雙曲馀弦值。

ISO8級。

300，000級 。

10，000，000 。

60，000 。

15 。

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